| 1988年 7月 |
東京都八王子市に資本金3,000千円で株式会社レイテックスを設立 |
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| 1990年 7月 |
非接触表面粗さ計 Chapman の販売を開始 |
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| 1993年 5月 |
ウェーハ形状測定器 E+H の販売を開始 |
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| 1995年 12月 |
ウェーハエッジ欠陥自動検査装置 EdgeScan の開発を開始 |
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| 1996年 5月 |
ウェーハエッジ欠陥自動検査装置 EdgeScan の販売を開始（自社開発第1弾） |
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| 1997年 3月 |
ディスク用表面粗さセンサーの販売を開始（自社開発第2弾） |
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| 2001年 1月 |
セキテクノトロン株式会社とウェーハエッジ欠陥自動検査装置の総代理店契約を締結 |
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| 2001年 4月 |
ウェーハ裏面自動検査装置 BackScan の販売を開始（自社開発第3弾） |
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| 2001年 7月 |
ウェーハトポグラフィー測定検査装置 DynaSearch の販売代理権を獲得 |
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| 2002年 7月 |
ウェーハトポグラフィー測定検査装置 DynaSearch の自社開発を開始 |
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| 2003年 1月 |
ウェーハエッジ裏面複合検査装置の販売を開始 |
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| 2003年 3月 |
福島県福島市に福島オフィスを開設 |
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| 2003年 6月 |
福岡県福岡市に福岡オフィスを開設 |
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| 2003年 7月 |
サーマウェーブ社の膜厚測定装置及びイオンドーズモニターの販売を開始 |
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| 2003年 8月 |
米国オレゴン州に RAYTEX USA CORPORATION を設立 |
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| 2003年 10月 |
中間工程向けウェーハ全面検査装置の発表（自社開発第4弾） |
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| 2003年 10月 |
ウェーハトポグラフィー測定検査装置 DynaSearch XP（自社開発版）を発表 |
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| 2004年 4月22日 |
株式会社東京証券取引所マザーズに株式上場 |
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| 2004年 6月28日 |
ウェーハトポグラフィ測定検査装置「DynaSearch」に関する特許権・商標権の取得 |
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| 2004年 8月19日 |
台湾 台北市に台湾オフィスを開設 |
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| 2004年 9月27日 |
KLA-Tencor社より、ウェーハ測定検査機「NanoPro NP1」に関する特許権・商標権の取得 |
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| 2004年 10月1日 |
ウェーハエッジ欠陥検査装置「EdgeScan plus」の販売を開始
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| 2004年 10月6日 |
韓国 京畿道龍仁市に韓国オフィスを開設 |
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| 2005年 5月 |
ウェーハエッジ・裏面多機能検査装置の販売を開始 |
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| 2006年 1月 |
品質マネジメントシステムの国際規格ISO９００１：2000認証取得 |
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| 2006年 5月 |
ウェーハ測定検査機「ＮａｎｏＰｒｏ ＮＰ１」の販売を開始 |
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| 2006年 7月 |
多摩市落合に新社屋完成、本社移転
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| 2007年 3月 |
株式交換により、株式会社ナノシステムソリューションズを完全子会社化
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| 2007年 4月 |
三井金属鉱業株式会社より「ウェーハ内部欠陥検査装置」に関する特許権・商標権の取得
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