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| 自社製品 |
EdgeScan:ウェーハエッジ欠陥自動検査装置
EdgeScan B+plus:ウェーハエッジ・裏面複合検査装置
DynaSearch XP: ウェーハトポグラフィ測定装置
NanoPro NP2：ウェーハトポグラフィ測定装置
LSTD Scanner
BMD Analyzer
D-light DL-1000：マスクレス露光装置
SWiNG :ActiveX,SECS/GEM,HSMS通信コントロールソフト
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| 輸入製品 |
MPシリーズ：非接触表面粗さ計(米国・Chapman社製)
MXシリーズ：ウェーハ厚さ、反り、ワープ測定器
(ドイツ・E+H社製) |
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 SWiNG
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| 業界標準の SECS-I/II / HSMSに対応したActiveX 通信コントロール "ＳＷiNG２" |
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