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シリコンウェーハのエッジ検査は当初、作業者が暗室で目視により行っていました。それを、レイテックスはいち早く自動化また検査結果の数値化する装置を開発し、検査工程のスループット及び信頼性の向上を目指しました。
300mmウェーハの増産および回路パターンの微細化が進むにつれ、エッジ部分の不良が半導体デバイスの製造歩留を低下させるという問題について認知度を上げるべく、新製品の開発及び営業活動を行ってまいりました。
最近ではウェーハメーカは300mmウェーハを全数検査し、またデバイスメーカはエッジ検査工程を増加させています。
レイテックスはナノトポグラフィー測定装置市場でのシェア拡大を目指します。
ナノトポグラフィー測定装置の市場は長年に渡り他社により独占されています。300mmウェーハの増産に伴い、この市場の規模は拡大を続けています。
光学系に強みを持つナノシステムソリューションズ㈱を子会社化したことによりレイテックスの技術力がアップしました。 今後は、新製品のNanProを中心にナノトポグラフィー測定装置の売上を増やして行きます。
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