●Twin inspection Engineによる高速パラレル処理
BackScanは、Twin Inspection Engineを搭載、二つの検査ステージで､同時に検査を進めることにより高いスループットを実現させています。1ステージに一台にではなく、空いているCPUを確認し次々に検出処理をさせることにより最大限に高速化されています。

●独自の検査アルゴリズム
より確実な検査のために欠陥検出アルゴリズムは､３重の処理となっています。先ず、各画面にて欠陥を検出、大きさ・強度・形状により判定します。次に各画面で判定された画像を合わせ傷の連続性を抽出、傷長さを測定します。
更に、全体のイメージを再度処理しマクロな欠陥を検出します。この3段階の処理により､より検査員のする目視検査に近い判定を可能にしています。
　・ショット内にある短い傷の検出
　・数ショットにまたがるマクロ欠陥の検出
　・形状認識アルゴリズムによる「結晶性ピンホール