 |
|
|
 本装置は、テレセントリック光学照明系とDMD（Digital Micromirror Device）を使用し、PC上で作画した任意のパターンを、フォトマスクを用いることなく即座にレジスト上に転写するR&D用露光装置です。
ユーザーの開発構想が速やかに実現化でき、研究試作の効率が飛躍的に向上します。
|
- 手軽に最小画素1μmのレジストパターンが得られます。
- 基板の材質・形状を問いません。
- オートフォーカス、自動アライメント機能を装備します。
- 装置はコンパクトでメンテナンスも容易です。
- グレースケールパタンの描画も可能です。
|
- 光半導体デバイス開発
- 通信用デバイス開発
- 光硬化性材料開発
- 微小IDナンバリング
- MEMS
- μTAS
- 局所露光、選択露光アプリケーションなど
|
|
|
