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●静電容量式検査装置
●平坦度検査（そり、ワープ、Bow）
●厚み、TTV検査
●ソラ(Solar Waferウェーハ研削後、厚み、TTV、そり、ワープ検査(Very New !)
●プロセスコントロール
●ドイツＥ＆Ｈ社製
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■装置概要
・156mm四角ソラウェーハ、125mm四角ソラウェーハ対応
・一台の装置2種類以上のソラウェーハを測定できる
・一台の装置で厚み、TTV、Sori、Warp、Bow検査
■特徴
・49個の静電容量センサーで各種の検査を同時に行えます。
・トレーサアビリティが完備しているため、ウェーハ厚み保証にも使えます。
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■アプリケーション
・ソラウェハ厚み、TTV、ワープ、そり、Bow測定
・ロボットによるソーティング
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ソーラーウェーハ用測定センサー |
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300ｍｍシリコン・ディバイスウェーハ厚み、そり、ワープ検査装置
■装置概要
・300mmウェーハ対応全自動平坦度検査装置
・静電容量センサーによる非接触測定
■特徴
・保護テープ付バックグラインディングウェーハ測定
・ウェーハの厚み及び平坦度を検査する非接触全自動検査装置
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■アプリケーション
・保護テープ付ウェーハのバッククラインディング研削工程管理
・保護テープなしウェーハのバックグランディング研削工程管理
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■特徴
・１ペアの静電容量センサーを使って、ウェーハワイヤソー工程管理。
・非接触全自動検査装置
■アプリケーション
・ワイヤソーウェーハの厚み、うねり、ワープ、粗さを一つの装置で検査、管理する |
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■装置概要
・12インチシリコンウェハ対応
・平坦度（そり、ワープ、Bow）
・厚み検査
・P/N検査
・抵抗検査
■特徴
・ウェハソーティングを安く、早くできます。
・ウェハを立てて測定を行うので、自重の影響は少ない。
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■アプリケーション
・ウェーハメーカのベアウェハソーティング
・ウェハメーカのウェハ研削後のウェハソーティング
・ウェハメーカのウェハの一次鏡面加工後のウェハソーティング
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■装置概要
・8インチ、6インチディバイスウェハ対応
・一つの装置でディバイスウェハの厚み、TTV、そり、ワープ、Rowを検査できます。
■特徴
・全自動非接触測定
・多数のパラメーターを一回で測定できます。
・薄いディバイスウェハ対応
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■アプリケーション
・トレーサアビリティが完備するため、ウェハ厚みの保証に使えます。
・トレーザアビリティが完備するため、ウェハを研削する装置の精度の保証に使えます。
・ディバイスメーカウェハ研削前後、厚み、そり、ワープ、TTV、Bowの管理
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