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レイテックス独自の検査エンジンにより脅威のスループットを実現、ウェーハエッジの品質保証を協力にサポートします。
エッジスキャンのDual Optical Inspectionエンジンは、レーザースキャンにて欠陥候補点を捕らえ、特殊光学系によってCCD画像検査を行います。これにより、高精度の画像検査を生産性を犠牲にすることなく実現しました。ウェーハエッジの行程内検査、出荷検査、また受入検査、デバイスプロセス内エッジ欠陥モニターに。
200mmチモデル、300mmモデル、マルチウェーハモデル等さまざまなモデルをラインナップしています。 |
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ベーシックな裏面吸着によるエッジ検査装置です。レーザ光学系とCCD画像処理系との併用で高速で高精度なエッジ検査を実現できます。 |
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従来のエッジスキャン機能をそのままに新たに開発したエッジグリップ方式を採用。FOUP/FOSB＆ｸﾗｽ１対応ミニエン構造を組み合わせて、裏面を触ることなく300mmの出荷検査に対応しまし |
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本装置の特徴は従来のスタンドアローンタイプの検査機とは別コンセプトのOEM用モジュールタイプのEdgeScanです。
プロセス製造装置・検査装置などに取り付けて使用されるOEM用途に開発。モジュール化により既存の装置に追加・後付けすることに対応しました。そのメリットとして、既存のプロセスラインフローと設置台数を変えずにエッジ検査導入が可能になります。
これにより、プロセス変更に伴うコスト、新規装置導入の設備コスト、エッジ検査機搬送部のコストを削減できます。 |
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| 従来のエッジスキャンの検査エリアに加え新たにEZ部分の検査機能をプラス。従来自動検査が検査できなかったエッジエクスクルージョンの検査を可能にしました。 |
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検査エンジンにより検出された欠陥ポイントを高倍率画像でモニター出来ます。
欠陥部の形状など詳細な解析が可能です。
自動ステージによるジョイスティック動作で任意の視野にカメラポジションを移動出来ます。 |
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