RAYTEX
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製品一覧
株式会社レイテックス
RAYTEX CORPORATION

〒206-0033
東京都多摩市落合1-33-3
TEL: 042-338-2844 
FAX: 042-338-2853
e-mail: info@raytex.com
http://www.raytex.com
製品概要 特徴 検査の流れ
EdgeScan B+plus
RXMシリーズ ウェーハエッジ裏面複合検査装置
製品概要
EdgeScanの端面検査とBackScanの裏面検査の複合化により出荷検査の自動化をさらに効率化し、出荷コスト低減と安定化をサポートします。
特徴
エッジ検査部と裏面検査部の二つのステージから構成されており、一度カセットをセットするだけでエッジ欠陥と裏面欠陥の検査を自動的に行います。
エッジ検査部、裏面検査部共、フルエッジハンドリング方式により表裏面に接触することなく検査が可能です。
エッジ検査部は最新のエッジ検査エンジンを搭載。また裏面検査部には新開発の光学系を搭載し、専用アルゴリズムによる画像処理で高感度な検査を実現しています。
検査の流れ
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