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| Laser Scattering Tomography Defect Scanner |
 表層近傍欠陥・表面異物・表面の荒れを識別検査出来る次世代の総合ウェーハ検査機 |
- 欠陥、異物、ヘイズを識別して計測
- オートローダによる完全自動計測
- 計測中にゴミを付けないクリーンルーム対応
- 欠陥検出機として最高の感度を誇る40nmφ
- 表面状態に依存しない異物検出限界60nmφ
- 計測条件を一定としたラスタースキャン方式
- 散乱像を同時に観察できるイメージャ機能
- 12 / 8インチ対応機の選択可能
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- 分解能２μのアドレスデータ出力機能
- データのリアルタイム通信機能
- 表層5μ/0.5μの選択観察機能
- 欠陥、異物、ヘイズの全面マップ計測機能
- 欠陥、異物のサイズ情報機能
- １時間／８inch waferの高速全面計測
- 欠陥を確認しながら直接レーザマーク
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